أهداف عارية التيتانيوم التيتانيوم

 

 

أهداف التلاشي العالية من التيتانيوم هي أهداف طلاء تتدفق من سبائك التيتانيوم أو التيتانيوم عالي النقاء مع نقاء من 99.9 ٪ إلى 99.9999 ٪.

يتم استخدامها بشكل رئيسي في تصنيع أشباه الموصلات ، وعروض اللوحة المسطحة ، والطلاء الزخرفي ، وحقول شفط المعدات الفراغية.

تشمل مؤشرات الأداء الأساسية النقاء ، والكثافة (4.506-4.51 جم/سم) ، وحجم الحبوب (أقل من أو يساوي 50μm) ، والتحكم في الشوائب ، والتي يجب أن تتوافق مع المعايير المحلية والدولية مثل ASTM و ISO.

 

يتم استخدام أهداف التيتانيوم في دوائر متكاملة لإيداع طبقات حاجز مثل مركبات التيتانيوم والسيليكون ومركبات التيتانيوم النيتروجين ، مع نقاء 4N5-6N لتلبية متطلبات 0.18μm والعمليات الأكثر دقة.

 

في مجال الديكور ، يمكن استخدام التخفيف من المغنطيسية لإعداد طبقات الأفلام الملونة المختلفة ، وميزات الطلاء الفراغ على حد سواء مقاومة التصاق عالية ومقاومة للتآكل.

بالإضافة إلى ذلك ، تم تطبيق أهداف التيتانيوم في سيناريوهات مثل عمليات الزرع الطبية وطلاء الفضاء بسبب مزاياها لخفيفة الوزن وتوافق حيوياً.

تغطي مواصفات المنتج أقطار تتراوح من 50 إلى 400 مم وسمك من 3 إلى 28 مم ، ودعم متطلبات مخصصة مثل أهداف خلفية النحاس الربط ..

 

 

1) النقاء

ومع ذلك ، في التطبيقات العملية ، تختلف متطلبات النقاء للمواد المستهدفة أيضًا. على سبيل المثال ، مع التطور السريع لصناعة الإلكترونيات الدقيقة ، تطور حجم رقائق السيليكون من 6 "و 8 إلى 12" ، في حين انخفض عرض الأسلاك من 0.5um إلى 0.25um ، 0.18UM وحتى 0.13um. 99.999 ٪ أو حتى 99.9999 ٪.

 

2) محتوى الشوائب

الشوائب في المادة المستهدفة الصلبة والأكسجين وبخار الماء في المسام هي المصادر الرئيسية للتلوث للفيلم المودع. تختلف متطلبات محتويات الشوائب المختلفة للمواد المستهدفة لاستخدامات مختلفة. على سبيل المثال ، تتمتع أهداف سبيكة الألمنيوم النقية والألومنيوم المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات بمتطلبات خاصة لمحتوى المعادن القلوية والعناصر المشعة.

 

3) الكثافة

لتقليل المسامية في المادة المستهدفة الصلبة وتعزيز أداء الفيلم المتدحرج ، عادة ما يكون ذلك مطلوبًا أن يكون للمادة المستهدفة كثافة عالية نسبيًا. لا تؤثر كثافة المادة المستهدفة على معدل الثرثرة فحسب ، بل تؤثر أيضًا على الخصائص الكهربائية والبصرية للفيلم. كلما ارتفعت كثافة المادة المستهدفة ، كان أداء الفيلم أفضل. بالإضافة إلى ذلك ، فإن زيادة كثافة المادة المستهدفة وقوتها تمكنها من مواجهة الإجهاد الحراري بشكل أفضل أثناء عملية الثرثرة. الكثافة هي أيضًا واحدة من مؤشرات الأداء الرئيسية للمواد المستهدفة.

 

4) حجم الحبوب وتوزيع حجم الحبوب

عادةً ما يكون للمادة المستهدفة بنية متعددة الكريستالات ، ويمكن أن يتراوح حجم الحبوب من ميكرومتر إلى ملليمتر. لنفس المادة المستهدفة ، يكون معدل الضعف للهدف مع الحبوب الدقيقة أسرع من هدف الهدف مع الحبوب الخشنة. إن توزيع سماكة الأفلام المودعة عن طريق التلاشي المستهدف مع اختلافات حجم الحبوب الأصغر (توزيع موحد) أكثر اتساقًا.

 

 

 

أ.

يتم استخدام المتداول الساخن والتداول البارد لمعالجة مواد التيتانيوم في الأحجام والأشكال المطلوبة.

تعزز عملية التزوير القوة الميكانيكية والتوحيد الداخلي للمادة المستهدفة عن طريق تحسين بنية الحبوب للمادة.

 

ب. تلميع السطح والعلاج

يضمن تلميع السطح أن المادة المستهدفة لها تشطيب سطح جيد وتقلل من عدم المتكافئة أثناء الضعف.

يمكن أن يعزز المعالجة السطحية (مثل إزالة مقياس الأكسيد والطحن الدقيق) إطلاق جسيمات الضيق ، مما يؤدي إلى تحسين جودة الطلاء.

 

 

1. اختبار النقاء للمواد المستهدفة

تُستخدم أدوات التحليل الطيفي لاكتشاف مكونات الشوائب (مثل النيتروجين ، الأكسجين ، الحديد ، إلخ) في مواد التيتانيوم المستهدفة لضمان أن نقاءها تصل إلى أكثر من 99.9 ٪.

 

2. الكشف عن المعلمة المادية

اختبار الكثافة: يتم قياس كثافة المادة المستهدفة بواسطة طريقة إزاحة الماء لاكتشاف ما إذا كانت هناك مسام في الداخل.

اختبار خشونة السطح: تقييم التسطيح السطحي للمادة المستهدفة باستخدام مقياس التداخل بالليزر.

اختبار القوة: تأكد من أن الخصائص الميكانيكية للمادة المستهدفة تلبي متطلبات التلاشي من خلال اختبارات الشد واختبارات الصلابة.

 

 

 

الوسم : أهداف عارية من التيتانيوم العخف ، الصين العالي نقاء التيتانيوم الأهداف الأهداف المصنعة والموردين والمصنع, ASTM B381 سبيكة التيتانيوم تزوير حلقات, براغي سبيكة من التيتانيوم سداسيغون دين 933, ثاني أكسيد التيتانيوم, محرك التيتانيوم, مخفوفات التيتانيوم